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光学镀膜机
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金丝键合机
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晶圆搬运金相显微镜
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精密研磨抛光机
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快速退火炉
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离子束刻蚀机（IBE）
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IBE150
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轮廓仪
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膜厚仪
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纳米压印机
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砂轮划片机
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深硅刻蚀机
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HSE M200
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数码显微镜
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台阶仪
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套刻精度测量仪
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Uvisel Plus
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维开磁控溅射镀膜仪
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无机清洗间（项目二组）
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